平成19年度 (2007年度)

論文

  1. K. Nakamae, M. Chikahisa, H. Fujioka, "Estimation of electron probe profile from SEM image through wavelet multiresolution analysis for inline SEM inspection," Image and Vision Computing, vol. 25, no. 7, pp. 1117-1123 (July 2007).
  2. T. Imai, N. Takeda, G. Sato, K. Sekine, M. Ito, K. Nakamae, T. Kubo, "Changes in slow phase eye velocity and time constant of positional nystagmus at transform from cupulolithiasis to canalolithiasis," Acta Oto-Laryngologica, vol. 128, no. 1, pp. 22 - 28 (August 2007).
  3. T. Imai, N. Takeda, Go Sato, K. Sekine, M. Ito, K. Nakamae, T. Kubo, "Differential diagnosis of true and pseudo-bilateral benign positional nystagmus," Acta Oto-Laryngologica, vol. 128, no. 2, pp. 151-158 (August 2007).

国際会議

  1. M. Takashima, Y. Midoh, K. Nakamae, "Defect inspection using a high-resolution pattern image obtained from multiple low-resolution images of the same pattern on an observed noisy SEM image," in Proc. SPIE Advanced Lithography: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII, volume 6922, pp. 692216.1-11 (25-28 February 2008).
  2. T. Mizuno, M. Takahashi, Y. Azuma, H. Yanagita, K. Asayama, and K. Nakamae, " Maximum Permissible EB Acceleration Voltage for SEM-Based Inspection Before Electrical Characterization of Advanced MOS," in Proc. 45th Annual. IEEE International Reliability Physics Symposium, Phoenix, USA, pp. 618-619 (15-19 April 2007).
  3. M. Yamashita, C. Otani, M. Tonouchi, K. Miura, K. Nakamae, K. Nikawa, "THz emission characteristics from LSI-TEG chips under zero bias voltage," in Proc. the Joint 32nd International Conference on Infrared and Millimetre Waves and 15th International Conference on Terahertz Electronics (IRMMW-THz 2007), Cardiff, UK pp. 279-280 (3-7 September 2007).
  4. Y. Midoh, K. Nakamae, and H. Fujioka, "Line edge roughness measurement of nanostructures in SEM metrology by using statistically matched wavelet," in Proc. SPIE: Wavelet Applications in Industrial Processing V, volume 6763, pp. 67630F.1-9 (9-12 October 2007).

著書

解説・その他

研究会

  1. 御堂義博, 中前幸治, 藤岡 弘, "統計的適合ウェーブレットを用いたSEM画像ナノ構造のLER計測", LSIテスティングシンポジウム/2007会議録, pp. 1-6 (7-9 November 2007).
  2. 高島真彦, 御堂義博, 中前幸治, "同一パターンの複数低解像度SEM画像からの高解像度化を用いた欠陥検査", LSIテスティングシンポジウム/2007会議録, pp. 31-36 (7-9 November 2007).
  3. 岡本武司, 三浦克介, 中前幸治, "SEM像によるVLSI自動欠陥検出・分類の性能向上", LSIテスティングシンポジウム/2007会議録, pp. 37-42 (7-9 November 2007).
  4. 二宮幸夫, 三浦克介, 中前幸治, "レイアウト依存バラつきを考慮したVLSI故障診断法", LSIテスティングシンポジウム/2007会議録, pp. 221-226 (7-9 November 2007).
  5. 三浦克介, Xing Wu*, 中前幸治, "レイアウト抽出情報を用いた温度依存故障診断法の検討", LSIテスティングシンポジウム/2007会議録, pp. 233-238 (7-9 November 2007).
  6. 山下将嗣, 大谷知行, 斗内政吉, 三浦克介, 中前幸治, 二川 清, "レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡におけるLSI-TEG観察", LSIテスティングシンポジウム/2007会議録, pp. 347-350 (7-9 November 2007).

学術講演会

  1. 吉村昌悟, 御堂義博, 中前幸治, 今井貴夫, 関根和教, 武田憲昭, "平衡神経・眼球運動シミュレータを用いた良性発作性頭位めまい症の治療支援", FIT2007 第6回情報科学技術フォーラム, G-023 (5-7 September 2007).
  2. 岡本武司, 三浦克介, 中前幸治, "弛緩法マッチングと散布図解析によるVLSI自動欠陥検出の精度向上", 電子情報通信学会2007年ソサイエティ大会, C-12-3 (10-14 September 2007).
  3. 二宮幸夫, 三浦克介, 中前幸治, "レイアウト依存バラつきを考慮したVLSI故障診断法の検討", 電子情報通信学会2007年ソサイエティ大会, C-12-4 (10-14 September 2007).
  4. X. Wu, K. Miura, K. Nakamae, "Methodology for Layout-Based Diagnosis of VLSI Chips Considering Temperature Distribution", 電子情報通信学会2007年ソサイエティ大会, C-12-5 (10-14 September 2007).
  5. 二川 清, 井上彰二, 三浦克介, 中前幸治, "LSI不良・故障解析の現状とレーザSQUID顕微鏡の適用", 電子情報通信学会2008年総合大会, CT-2-1 (18-21 March 2008), to be published.
  6. 二川 清,井上彰二,三浦克介,中前幸治, "LSIの不良・故障状態をレーザーSQUID顕微鏡で見る", 2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会, 28p-ZA-7 (27-30 March 2008), to be published.