平成14年度 (2002年度)

論文 

  1. T. Nakasugi, A. Ando, R. Inanami, N. Sasaki, K. Sugihara, M. Miyoshi, and H. Fujioka, "Edge Roughness Study of Chemically Amplified Resist in Low-Energy Electron-Beam Lithography Using Computer Simulation," Jpn. J. Appl. Phys. Part I, 41, 6B, pp.4157-4162 (June 2002).
  2. K. Nomura, K. Nakamae, and H. Fujioka, "EB Tester Line Delay Fault Loalization Algorithm for Combinational Circuits Considering CAD Layout," IEICE Trans. Inf. & Syst., E85-D, 10, pp. 1564-1570 (October 2002).
  3. 中田晴己, 中前幸治, 藤岡 弘, 西山英利, "VLSIウェーハ製造工程における検査プロセス戦略の評価", 電子情報学会論文誌C, J85-C, 11, pp. 1016-1027 (November 2002).
  4. T. Nakasugi, A. Ando, R. Inanami, N. Sasaki, T. Oota, K. Sugihara, O. Nagano, Y. Yamazaki, I. Mori, M. Miyoshi, K.Okumura, and H. Fujioka, "Maskless Lithography using Low Energy Electron-Beam: Recent Results of Proof-of-Concept Tool," J. Vac. Sci. Technol. B, 20, 6, pp. 2651-2656 (November 2002).
  5. 中前幸治, 藤岡 弘, "LSIテスティングの最近の動向", 電子情報通信学会論文誌C, J86-C, 2, pp. 103-114 (February 2003).

国際学会

  1. K. Miura, K. Nakamae, and H. Fujioka, "CAD Navigation System for Backside Waveform Probing of CMOS Devices," in Proc. 13th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis (ESREF 2002), Rimini, Italy, pp. 1679-1684 (October 7-11, 2002).
  2. Y. Midoh, K. Miura, K. Nakamae, and H. Fujioka, "Fine Structure Measurement in the SEM Cross Section of LSI Using the Canny Edge Detector", IS&T/SPIE's 15th Annual Symposium on Electronic Imaging, Santa Clara, California, USA (January 20-24, 2003).
    • Y. Midoh, K. Miura, K. Nakamae, and H. Fujioka, "Fine Structure Measurement in the SEM Cross Section of LSI Using the Canny Edge Detector", in Proc. Proceedings of SPIE Volume: 5011 Machine Vision Applications in Industrial Inspection XI, 5011, pp.190-199 (May 2003).
  3. M. Chikahisa, K. Nakamae, and H. Fujioka, "Estimation of Electron Beam Profile from SEM Image by Using Wavelet," IS&T/SPIE's 15th Annual Symposium on Electronic Imaging, Santa Clara, California, USA (January 20-24, 2003).
    • M. Chikahisa, K. Nakamae, and H. Fujioka, "Estimation of Electron Beam Profile from SEM Image by Using Wavelet," in Proc. SPIE Volume: 5011 Machine Vision Applications in Industrial Inspection XI, 5011, pp.275-282 (May 2003).
  4. K. Nakamae, H. Ikeda, and H. Fujioka, "Evaluation of Final Test Process in 64-Mbit DRAM Manufacturing System through Simulation Analysis," in Proc. 14th Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop 2003, pp.202-207 (March 2003).

著書

  1. 藤岡 弘, 中前幸治, "画像処理の基礎", 昭晃堂 (September 2002).

解説・その他

  1. 藤岡 弘, "情報科学研究科情報システム工学専攻集積システム診断学講座", 生産と技術, 55, 1 (January 2003).

研究会

  1. 西村宜晃, 中前幸治, 藤岡 弘, “シミュレーション手法によるSEMウェーハ検査システムを用いた歩留り低下要因早期検出法の評価”, LSIテスティングシンポジウム/2002 会議録, pp. 19-24 (2002).
  2. 善田洋平, 中前幸治, 藤岡 弘, “DRAMリペア構成とアナリシスの評価”, LSIテスティングシンポジウム/2002 会議録, pp. 83-87 (2002).
  3. 三浦克介, 中前幸治, 藤岡 弘, “CMOSデバイスの裏面波形観測のためのCADナビゲーションシステム”, LSIテスティングシンポジウム/2002 会議録, pp. 131-136 (2002).
  4. 小畠智幸, 三浦克介, 中前幸治, 藤岡 弘, “EB・FIB統合化テストシステムにおけるFIB加速電圧の低電圧化”, LSIテスティングシンポジウム/2002 会議録, pp. 177-182 (2002).
  5. 御堂義博, 中前幸治, 藤岡 弘, “統計的画像処理法による半導体断面SEM像からの微細デバイス構造認識”, LSIテスティングシンポジウム/2002 会議録, pp. 195-200 (2002).
  6. 橋本慶章, 中前幸治, 藤岡 弘, “半導体デバイス外観検査装置の照明方式検討用CGシステム”, LSIテスティングシンポジウム/2002 会議録, pp. 217-222 (2002).
  7. 三浦克介, 中前幸治, 藤岡 弘, “レイアウトからの逐次回路抽出によるSoCの故障追跡”, 電子情報通信学会 電子部品・材料 (CPM)/集積回路 (ICD) 研究会, CPM2002-147/ICD2002-192, 信学技報, vol.102, no.622, pp.47-52 (January 30-31, 2003).

 

学術講演会

  1. 近久真章, 中前幸治, 藤岡 弘, “ウェーブレット多重解像度解析を用いたSEM観測画像からの電子ビームプロファイルの推定”, 2002年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会, C-12-1, p. 67 (September 10-13, 2002).
  2. 西村宜晃, 中前幸治, 藤岡 弘, “シミュレーション手法によるSEMウェーハ検査システムを用いた歩留り低下要因早期検出法の評価”, 2002年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会, C-12-2, p. 68 (September 10-13, 2002).
  3. 小畠智幸, 三浦克介, 中前幸治, 藤岡 弘, “EB・FIB統合化テストシステムにおけるFIB加速電圧の低電圧化”, 2002年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会, C-12-3, p. 69 (September 10-13, 2002).
  4. 橋本慶章, 中前幸治, 藤岡 弘, “半導体デバイス外観検査装置の照明方式検討用CGシステム”, 2002年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会, C-12-4, p. 70 (September 10-13, 2002).
  5. 善田洋平, 中前幸治, 藤岡 弘, “DRAMリペア構成とアナリシスの評価”, 2002年電子情報通信学会情報システムソサイエティ大会, C-12-28, p. 94 (September 10-13, 2002).