平成23年度 (2011年度)

論文

  1. M. Yamashita, C. Otani, T. Matsumoto, Y. Midoh, K. Miura, K. Nakamae, K. Nikawa, S. Kim, H. Murakami, and M. Tonouchi, "Thz emission characteristics from p/n junctions with metal lines under non-bias conditions for LSI failure analysis," Optics express, vol. 19, no. 11, pp. 10864&-10873, May 2011.

国際会議(査読付き)

  1. K. Nikawa, M. Yamashita, T. Matsumoto, C. Otani, M. Tonouchi, Y. Midoh, K. Miura, and K. Nakamae, "Non-electrical-contact LSI failure analysis using non-bias laser terahertz emission microscope," Proc. 18th IEEE International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits (IPFA), Incheon, KOREA, pp.369-373 (4-7 July 2011).
  2. K. Nikawa, M. Yamashita, T. Matsumoto, K. Miura, Y. Midoh, and K. Nakamae, "Invited: The combinational or selective usage of the laser squid microscope, the non-bias laser terahertz emission microscope, and fault simulations in non-electrical-contact fault localization," Proc. 22nd European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis (ESREF), Bordeaux, France, Microelectronics Reliability, vol. 51, no. 9-11, pp. 1624-1631 (3-7 Oct. 2011).

著書

解説・その他

国内会議(査読付き)

  1. 林 史也, 御堂義博, 中前幸治, "試料傾斜角の異なる複数枚SEM画像からの三次元形状計測 (II)", 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録, pp.17-22 (9-11 Nov. 2011).
  2. 須田貴士, 御堂義博, 中前幸治, "Wavelet変換に基づく超解像度化を用いたSEM画像欠陥検査", 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録, pp.27-32 (9-11 Nov. 2011).
  3. 曽我勇幾, 三浦克介, 門多健一, 有竹俊之, 山崎裕一郎, 中前幸治, "VLSI生産におけるレイアウトデータを利用したシステマティック欠陥とランダム欠陥の分離", 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録, pp.45-50 (9-11 Nov. 2011).
  4. 三浦克介, 御堂義博, 山下将嗣, 松本 徹, 二川 清, 中前幸治, "走査レーザSQUID顕微鏡およびLTEM複合故障箇所解析装置の為の故障データベースと故障絞り込み支援ソフトウェアの開発", 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録, pp.A17-A22 (9-11 Nov. 2011).
  5. 御堂義博, 山下将嗣, 松本 徹, 二川 清, 中前幸治, "LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション (II)", 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録, pp.A23-A28 (9-11 Nov. 2011).
  6. 工藤修一, 吉田岳司, 本田和仁, 村田直文, 廣瀬幸範, 片山俊治, 小守純子, 小山 徹, 中前幸治, "SIL プレートを用いた発光解析と電子線トモグラフィによる結晶欠陥起因リーク不良の解析", 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録, pp.303-308 (9-11 Nov. 2011).
  7. 御堂義博, 林 史也, 平木健司, 中前幸治, "電子顕微鏡トモグラフィのための傾斜像シリーズアライメント手法", 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録, pp.A29-A34 (9-11 Nov. 2011).

研究会

  1. 二川清,山下将嗣,松本徹,三浦克介,御堂義博,中前幸治,"招待講演:レーザSQUID 顕微鏡, レーザテラヘルツ放射顕微鏡, 関連シミュレーションの統合的/選択的利用: 電気的非接続でのLSIチップ故障箇所絞り込み手法", 電子情報通信学会技術研究報告. R, 信頼性, 高知市, vol.111, no.33, pp.1-6 (13 May 2011).
  2. 三浦克介,野津孝行,中前幸治,"量子ドットセルオートマトンPLAの信頼性評価", 電子情報通信学会技術研究報告. R, 信頼性, 高知市, vol.111, no.33, pp.29-34 (13 May 2011).

学術講演会

  1. 松本 徹, 山下将嗣, 大谷知行, 斗内政吉, 御堂義博, 三浦克介, 二川 清, 中前幸治, "レーザテラヘルツエミッション顕微鏡による無バイアスLSI 故障解析", 日科技連第41回信頼性保全シンポジウム, 東京 (14-15 July 2011).