平成21年度 (2009年度)

論文

  1. T. Imai, N. Takeda, M. Ito, K. Sekine, G. Sato, Y. Midoh, K. Nakamae, T. Kubo, "3D analysis of benign positional nystagmus due to cupulolithiasis in posterior semicircular canal," Acta Oto-Laryngologica, Volume 129, Issue 10, pages 1044-1049 (Oct. 2009).
  2. R. Nakagaki, T. Honda and K. Nakamae, "Automatic recognition of defect areas on a semiconductor wafer using multiple scanning electron microscope images," Measurement Science and Technology, vol. 20, no. 7, pp. 075503 (Sep. 2009).

国際会議(査読付き)

  1. M. Yamashita, C. Otani, S. Kim, H. Murakami, M. Tonouchi, T. Matsumoto, Y. Midoh, K. Miura, K. Nakamae and K. Nikawa, "Development of an LTEM prototype system for LSI failure analysis," in Proc. 34rd International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMWTHz), Seoul, Korea, T2D01.0155 (26–27 Sep. 2009).
  2. K. Nikawa, M. Yamashita, C. Otani, M. Tonouchi, H. Murakami, S. Kim, K. Nakamae, K. Miura, Y.Midoh, T. Matsumoto, Y. Aoki, T. Nagaishi, S. Inoue, and T. Sakai, "Novel electrical failure analysis tools for LSI chips: non-bias and non-signal-application," in Proc. Japan-Taiwan Microelectronics International Symposium, Tokyo, Japan (Oct. 2009).
  3. M. Yamashita, C. Otani, S. Kim, H. Murakami, M. Tonouchi, T. Matsumoto, Y. Midoh, K. Miura, K. Nakamae, and K. Nikawa, "Laser terahertz emission microscope for inspecting interconnect defects in semiconductor devices," in Proc. 20th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis (ESREF2009), Arcachon, France (5–9 Oct. 2009).
  4. S. Kobayashi, S. Kyoh, T. Kotani, Y. Takekawa, S. Inoue and K. Nakamae, "Full-chip layout optimization for process margin enhancement using model-based hot-spot fixing system," in Proc. 22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2009), Sapporo, Japan (16–19 Nov. 2009).
  5. M. Yamashita, C. Otani, S. Kim, H. Murakami, M. Tonouchi, T. Matsumoto, Y. Midoh, K. Miura, K. Nakamae, and K. Nikawa, "Development of an LTEM prototype system for LSI failure analysis," in Extended Abstracts of 2nd International Workshop on Terahertz Technology (TeraTech 09), Osaka, Japan, pp. 261–262 (30 Nov.–3 Dec. 2009) .
  6. Y. Midoh, T. Terasaka, and K. Nakamae, "Evaluation of maskless electron-beam direct writing with double character projection apertures," in Proc. SPIE: Alternative Lithographic Technologies II, San Jose, USA, vol. 7637, 7637-12 (21–25 Feb. 2010).
  7. S. Kobayashi, S. Tanaka, S. Kyoh, S. Maeda, S. Inoue, and K. Nakamae, "Design intention application to tolerance-based manufacturing system," in Proc. SPIE: Design for Manufacturability through Design-Process Integration IV, vol. 7641, 7641-19 (21–25 Feb. 2010).

著書

解説・その他

  1. 中前幸治, "超LSI故障個所解析装置の開発", 季刊誌 生産と技術, 第61巻, 第2号, pp. 68-71 (2009).
  2. 二川清, 山下将嗣, 大谷知行, 斗内政吉, 村上博成, 金鮮美, 中前幸治, 三浦克介, 御堂義博, 松本徹, 青木芳充, 井上彰二, 永石竜起, 酒井哲哉, "LSI 故障解析の新手法―レーザSQUID 法とレーザテラヘルツ法の複合的利用:外部電力・外部信号不用な電気的解析法―", クリーンテクノロジー, 日本工業出版, no. 12 (Dec. 2009).

国内会議(査読付き)

  1. 寺坂豪泰, 御堂義博, 中前幸治, "二段キャラクタプロジェクションマスクレス電子ビーム直接描画方式の検討", 第29回LSI テスティングシンポジウム会議録, pp. 49–54 (11–13 Nov. 2009).
  2. 御堂義博, 高島真彦, 中前幸治, "複数低解像度SEM 画像からの高解像度化を用いた欠陥検査の評価", 第29回LSI テスティングシンポジウム会議録, pp. 61–66 (11–13 Nov. 2009).
  3. 野津孝行, 三浦克介, 中前幸治, "量子ドットセルオートマトン(QCA) を用いた高密度・高信頼PLA の検討", 第29回LSI テスティングシンポジウム会議録, pp. 227–232 (11–13 Nov. 2009).
  4. 三浦克介, 中前幸治, 二川清, "電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID 顕微鏡によるVLSI 診断法の検討", 第29回LSI テスティングシンポジウム, pp. 239–244 (11–13 Nov. 2009).
  5. 三浦克介, 中前幸治, "VLSI 詳細故障診断の為のレイアウト情報抽出ソフトウェアの開発", 第29回LSI テスティングシンポジウム会議録(11–13 Nov. 2009).
  6. 山下将嗣, 大谷知行, 金鮮美, 村上博成, 斗内政吉, 御堂義博, 三浦克介, 中前幸治, 二川清, "レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡によるLSI-TEG 観察II", 第29回LSI テスティングシンポジウム会議録, pp. 343–348 (11–13 Nov. 2009).

研究会

  1. 山下将嗣, 大谷知行, 金鮮美, 村上博成, 斗内政吉, 松本 徹, 御堂義博, 三浦克介, 中前幸治, 二川 清, "LSI故障解析用レーザーテラヘルツ放射顕微鏡プロトタイプ装置の開発", エクストリームフォト二クスシンポジウム「光で繋ぐ理研の基礎科学」(20-21 May 2009).

学術講演会

  1. 山下将嗣, 大谷知行, 金鮮美, 村上博成, 斗内政吉, 松本徹, 御堂義博, 三浦克介, 中前幸治, 二川清, "LSI 故障解析用LTEM プロトタイプ装置の開発", 第70回応用物理学会学術講演会(秋季大会), 9p-M-14 (8–11 Sep. 2009).
  2. 御堂義博, 今井貴夫, 関根和教, 武田憲昭, 猪原秀典, 中前幸治, "新しい眼球運動解析システム(2)", 第68回日本めまい平衡医学会総会・学術講演会抄録集, p. 312 (25–27 Nov. 2009).
  3. 野津孝行, 三浦克介, 中前幸治, "QCA-PLA の耐欠陥性向上", 電子情報通信学会総合大会, C-12-33 (16–19 Mar. 2010).
  4. 三浦克介, 二川清, 中前幸治, "走査レーザSQUID 顕微鏡によるシミュレーションを活用したVLSI 故障絞り込み法", 電子情報通信学会総合大会, C-12-66 (16–19 Mar. 2010).
  5. 御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 斗内政吉, 二川清, 中前幸治, "LTEM によるLSI 故障解析のためのTHz 波シミュレーション(II)", 第57回応用物理学会関係連合講演会, 19p-L-9 (17–20 Mar.2010).
  6. 松本徹, 山下将嗣, 大谷知行, 金鮮美, 村上博成, 斗内政吉, 御堂義博, 三浦克介, 中前幸治, 二川清, "レーザテラヘルツエミッション顕微鏡のLSI 故障解析への応用", 第57回応用物理学会関係連合講演会, 18p-M-8 (17–20 Mar. 2010).