平成17年度 (2005年度)

論文

  1. K. Miura, M. Fujita, K. Nakamae and H. Fujioka, "Pattern Matching Between an SEM Exposed Pattern Image of LSI Fine Structures and CAD Layout Data by Using the Relaxation Method," Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, vol. 23, no. 6, pp. 3065-3068 (Nov 2005).
  2. T. Tominaga, K. Nakamae, T. Matsuo, H. Fujioka, T. Nakasugi, and K. Tawarayama, "Electron-beam direct writing system employing character projection exposure with production dispatching rule," Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, vol. 23, no. 6, pp. 2780-2783 (Nov 2005).

国際会議

  1. K. Miura, M. Fujita, K. Nakamae and H. Fujioka, "Pattern Matching Between an SEM Exposed Pattern Image of LSI Fine Structures and CAD Layout Data by Using the Relaxation Method," in Proc. 49th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN), Orland, USA, pp. 166-167 (31 May - 3 June 2005).
  2. T. Tominaga, K. Nakamae, T. Matsuo, H. Fujioka, T. Nakasugi, and K. Tawarayama, "Electron-beam direct writing system employing character projection exposure with production dispatching rule," in Proc. 49th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN), Orland, USA, pp. 297-298 (May 31-June 3, 2005).
  3. R. Suzuki, K. Nakamae, H. Fujioka, "Robustness evaluation of cost-optimum sampling plan for in-line wafer inspection by using Taguchi methods," in Proc. IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM), San Jose, USA, pp. 386-389 (12-15 Sep 2005).
  4. S. Kono, K. Nakamae, M. Nakamura, and H. Fujioka, "Computer-assisted lesion detection system for stomach screening," in Proc. Medical Image Perception Conference XI, Windermere, UK, p. 26 (27-30 Sep 2005).
  5. Y. Yamada, K. Nakamae, H. Fujioka, "Image deblurring by the combined use of a superresolution technique and inverse filtering," in Proc. SPIE: Computational Imaging IV, San Jose, USA, vol. 6065, pp. 416-423 (16-18 Jan 2006).

著書

解説・その他

研究会

  1. 冨永達朗, 中前幸治, 藤岡 弘, 中杉哲郎, "キャラクタプロジェクション方式電子ビーム直接描画システムにおけるニューラルネットワークに基づく動的スケジューリング", LSIテスティングシンポジウム/2005 会議録, pp. 1-6 (9-11 Nobember 2005).
  2. 御堂義博, 中前幸治, 藤岡 弘, "LSI断面SEM画像における多重ガウシアンフィルタリングによる境界抽出 (II)", LSIテスティングシンポジウム/2005 会議録, pp. 7-14 (9-11 Nobember 2005).
  3. 今田次郎, 中前幸治, 藤岡 弘, "SEM観測画像におけるウェーブレット多重解像度解析による形状計測", LSIテスティングシンポジウム/2005 会議録, pp. 15-20 (9-11 Nobember 2005).
  4. 中野賢司, 三浦克介, 中前幸治, 藤岡 弘, "遠隔検査環境下での画像ベース検査手法の検討", LSIテスティングシンポジウム/2005 会議録, pp. 55-60 (9-11 Nobember 2005).
  5. 鈴木 良, 中前幸治, 藤岡 弘, "タグチ法によるインラインウェーハ検査最適サンプリングプランのロバストネス評価", LSIテスティングシンポジウム/2005 会議録, pp. 97-102 (9-11 Nobember 2005).
  6. 四之宮傑, 三浦克介, 中前幸治, 藤岡 弘, "テストポイント挿入ロジックBIST設計回路の故障診断容易性評価", LSIテスティングシンポジウム/2005 会議録, pp. 207-212 (9-11 Nobember 2005).

学術講演会

  1. 御堂義博, 中前幸治, 藤岡 弘, "SEM画像におけるLSI微細構造計測のためのスケールスペース理論を用いた境界抽出", 電子情報通信学会 2006年総合大会, D-11-127, p. 127 (24-27 March 2006).